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洁净机器人

新松洁净自动化系列产品经过10多年的技术沉淀已形成系列化单体产品,同时注重模块化单元及设备平台建设,以成套化和规模化为发展目标,拥有100余人的专业研发团队,在沈阳拥有5000平米的净化间,目前主要应用领域覆盖ic装备、平板显示、光伏、电子等行业,能够为客户提供完整的技术j9九游会官网的解决方案和交钥匙工程。完全拥有自主知识产权和核心技术,技术水平国内领先达到国际先进水平。
tss-3000 efem
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一体化程度高,自动化程度高,安全区保护,semi认证s2、f47,网络化控制器,接口可用户定制,拥有新松自主研发的控制器,aligner,方便在视窗观察的可拆卸单元门,易移动框架,带有隔离的风扇 过滤系统,可拆分的设备结构,从而保证设备洁净、可靠的运行。

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真空机械手 archer 系列
真空机械手 archer 系列

直驱电机结构,全新的io模块,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能,拥有semi认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

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真空传输平台diagram 600
真空传输平台diagram 600

作为半导体制造生产线的必要设备,本平台一般包含在整套半导体制造设备系统之中,是硅片盒(cassette)到工艺腔(cvd,ald,pvd等)之间的硅片搬送系统。

真空机械手phoenix b系列
真空机械手phoenix b系列

直驱电机结构,全新的io模块,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能,拥有semi认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

真空机械手phoenix-s25系列
真空机械手phoenix-s25系列

直驱电机结构,全新的io模块,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能,拥有semi认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

真空机械手phoenix plus b系列
真空机械手phoenix plus b系列

直驱电机结构,全新的io模块,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能,拥有semi认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

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